（1）半導體實驗室氣路外部因素不正常所引起的故障；

　　（2）人為的操作使用過程不當引起的故障；

　　（3）半導體實驗室氣路自身內部某些元件質量缺陷引起的故障。

　　1、儀器外部因素不正常引起的設備故障

　　這類故障主要由于實驗室環境溫度、濕度不適宜，供電電壓不穩，外部電磁場以及儀器受震動而引起的。在溫度過高、濕度過大、通風不良等環境條件下，設備運行過程中某些元件會過熱，甚至燒毀，電路板會氧化、遭腐蝕損壞，電路短路以及導電性灰塵吸潮也能夠直接燒壞元件。

　　2、操作不當或麻痹大意引起故障

　　如果操作者在實驗過程中操作不當，致使一些液體流入儀器內部的電路板或元件上，會發生化學腐蝕和電化學腐蝕，使儀器受損。有的儀器設備在開機后須預熱一段時間方可使用，而有的儀器設備在開機后須按要求進行調整、校正參數才能使用。如果儀器發生故障前的征兆沒能引起使用者注意，極有可能造成儀器損壞。這些人為操作不當出現的故障應引起管理者足夠重視。

　　3、儀器設備質量問題引起的故障

　　碳膜電位器，多圈電位器或機械零部件因磨損、氧化或接觸不良能夠造成儀器設備的故障；儀器設備所使用的元器件性能不佳，例如，半導體器件、集成電路、電阻、電容等性能不穩定也會引發故障；儀器設備生產廠家制造工藝落后、元器件虛焊、插件接觸不良，也能使儀器在使用過程中因瞬間電流偏高而擊穿元器件，造成短路或開路的故障。

　　半導體實驗室氣路系統的維護事項有哪些？

　　1、對庫存、備用或因任務不足需要封存一段時間的儀器設備要定期清潔、查點、進行防塵、防銹、防潮等方面的維護。

　　2、各實驗室必須建立嚴格的崗位責任制，半導體實驗室氣路系統根據所使用儀器設備的特點和要求，制定相應的維護保養措施，并認真落實，使儀器設備的維護保養做到經常化、制度化。

　　3、要加強對實驗技術人員以及學生的基本操作訓練，使他們熟悉儀器設備性能特點，掌握基本操作方法，避免因操作不當或失誤造成損壞事故，特別是大型精密儀器設備使用，要嚴格執行持證上崗的制度，嚴禁未經培訓、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。

　　以上便是今天關于半導體實驗室氣路發生故障的原因一般可歸納為以下3類的全部分享了，希望對大家今后使用本設備能有幫助。